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Integrated Device Technology - 流量感測器
IDT整體流量感測器模組利用熱傳遞（量熱）原理在感測表面上對氣體或液體流動進行測量。流量感測器採用一系列 MEMS 熱電偶，能提供出色的信噪比。活性 MEMS 感測元件採用固體隔熱層以及碳化矽塗層，使產品具備出色的耐磨性和長期可靠性。
IDT 為全面校準且線性化的 FS2012 提供一款針對氣體或液體的未校準毫伏輸出版產品(FS1012)，典型精確度達到讀數的 2%。
特色
• 高精確度和響應性的氣體及液體整體流量感測器解決方案適用於 FDA 認證應用。
• 元件採用緻密碳化矽塗層，可用於液體和氣體。還使元件對流經介質具有惰性。
• 無空腔的固態熱電堆傳感，易於清洗，並消除堵塞可能性
• 低電壓，3 至 5VDC
應用
• 這些質量流傳感器理想適用於工業過程、健康護理、醫療及汽車行業。
主要元件
• FS1012
• FS2012
優勢
• 高精確度和響應性的氣體及液體整體流量感測器
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