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Integrated Device Technology - 流量传感器
IDT整体流量传感器模块利用热传递（量热）原理在传感表面上对气体或液体流动进行测量。流量传感器采用一系列 MEMS 热电偶，能提供出色的信噪比。活性 MEMS 传感元件采用固体隔热层以及碳化硅涂层，使产品具备出色的耐磨性和长期可靠性。
IDT 为全面校准且线性化的 FS2012 提供一款针对气体或液体的未校准毫伏输出版产品(FS1012)，典型精确度达到读数的 2%。
特色
• 高精确度和响应性的气体及液体整体流量传感器解决方案适用于 FDA 认证应用。
• 元件采用致密碳化硅涂层，可用于液体和气体。还使元件对流经介质具有惰性。
• 无空腔的固态热电堆传感，易于清洗，并消除堵塞可能性
• 低电压，3 至 5VDC
应用
• 这些质量流传感器理想适用于工业过程、健康护理、医疗及汽车行业。
主要组件
• FS1012
• FS2012
优势
• 高精确度和响应性的气体及液体整体流量传感器
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